即使使用最精细的磨料，研磨也是一种高表面温度的操作，会产生峰值和谷值。表面也会有细微的波纹，在没有放大镜的情况下，这些波纹是看不见的，但在高速轧制或滑动时，这些波纹是毁灭性的。超精加工将是必要的，以消除表面光洁度的峰值，并提供一个良好的硬度、结构和未受干扰的基本金属的承重表面。

需要超精加工的零件包括滚子轴承、减震器杆、滑动叶片泵、活塞销、曲轴轴颈和凸轮叶。在这个过程中，当工件旋转时，精加工棒以很短的行程快速摆动。随着磨料的摆动，工件在一个杯子或圆筒下旋转或摆动，产生微细的切屑。该工艺可去除小至0.5微米（0.00002英寸）或大至20微米（0.008英寸）的材料。超精加工也被称为微精加工、抛光、短行程珩磨或超级珩磨（但决不只是 "珩磨"，那是一个单独的过程）。

测量超精加工中的表面光洁度，可以采用两种测针类型中的一种。滑动测针不能完全代表表面，因为它们可能会放大或抵消表面的波纹，这取决于几何形状与滑动-测针间距的关系。这些测针最适合用于粗糙度评估，以消除波浪和形状误差的因素。无滑移测针能更好地体现表面的波浪和形状，形成更准确的轮廓。

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